硅芯片凈化無塵室的維護(hù)應(yīng)該如何維護(hù)
凈化室最主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為無塵室。翔泰認(rèn)為凈化室的維護(hù)主要應(yīng)該注意以下三點：
1. 建立凈化室安全措施綜合系統(tǒng)，設(shè)置火災(zāi)報警、排煙、消防、事故照明等設(shè)施，對制劑中使用化學(xué)藥品、氣體的凈化室，還應(yīng)根據(jù)腐蝕、爆炸、可燃、自燃、有毒等物品性質(zhì)采取相應(yīng)的安全措施。
2. 凈化室的維護(hù)管理應(yīng)包括對凈化室的空氣凈化設(shè)備、配制制劑中使用的物料、設(shè)備和凈化室的操作人員等管理。應(yīng)建立相應(yīng)的管理制度，明確管理內(nèi)容方法和責(zé)任，執(zhí)行應(yīng)有記錄。
3.除了依靠使用人員日常管理外，應(yīng)建立凈化室計劃檢修制度，對凈化室空調(diào)系統(tǒng)和空氣凈化設(shè)備實行定期檢修、保養(yǎng)。
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